材（cái）料本身所具有的性能，必須通過正確的熱處理手段來達（dá）到（dào）。隻有良好的熱處理手段（duàn），才能實現（xiàn）我們預想的性能期望。根據塑封模具材料性能（néng）要求，塑封模熱處理（lǐ）手段主（zhǔ）要是高溫淬火、深冷處理、高溫回火，並多次反（fǎn）複，通過這些不同的處（chù）理，達到最佳的模具性能。 
1、高溫淬火 
    為了提（tí）高材料的剛性和耐磨損（sǔn）性，一般材料均需加熱到1030℃以上（shàng）。高溫下，各種（zhǒng）合金元素充分溶解於（yú）奧（ào）氏體（tǐ）內，以便在淬火時獲得高的基體硬度，同時為了保證零件不發生脫（tuō）碳氧（yǎng）化，相應采用了真空處（chù）理。目前半導體行業內使用的高速（sù）率氣淬淬火爐，可以在高真空條（tiáo）件下通過氮氣保護對工件進行加熱，既保（bǎo）證了工件的脫碳氧（yǎng）化，又（yòu）防止了合金元素的蒸發。同時采（cǎi）用200-500Kpa範圍內可調節氣體壓力，對工件進行淬火冷卻，在（zài）保證工件充分淬透的同時（shí）又減少（shǎo）了變形。 
2、深（shēn）冷處理與高溫回火 
    高（gāo）合金鋼在淬火後，由於其馬氏體（tǐ）轉變點（Ms點（diǎn））均高於室溫，為了提高硬度，保證尺寸穩定性，通常要進行深冷處理和（hé）高溫（wēn）回火，以保（bǎo）證殘（cán）餘奧氏體（tǐ）充分轉變為穩（wěn）定（dìng）的回火馬氏體。我們將經過真空淬火後的工件（jiàn），在室溫至100℃之間進行校正，然後放入-140℃的深冷處理箱中進行深冷。工件在不出爐的情況下（xià），可以在-140℃至230℃之間進行冷熱循環，保證工（gōng）件不會因為進出爐而產生變形（xíng）或開裂（liè）。同時由（yóu）於采用氮氣保護也避免了工件在回火中的氧化開裂。目前對於D2類材料，我們通常在深冷（lěng）設備中直接（jiē）完成-140℃深（shēn）冷至230℃回火的3次循環。對於高於230℃回火的鋼（gāng）種如SAM97、ELmax、ASP23等，我們采用了真空回火爐，在（zài）抽真空後，加入99.999%的高純（chún）氮氣作為介質，通過吹風方向的改變來形成對（duì）流，保證了工件的（de）溫度均勻性，同時節省了回火時間。 
3、其它輔助手（shǒu）段 
    在提高了淬火回（huí）火及深冷處理質量的同時，我們同時對工件的（de）其它環節（jiē）給（gěi）予了充分的重視，過（guò）去認為的熱處理工件潔淨（jìng）度與處理無關的觀點（diǎn）已經被拋棄，增加潔（jié）淨預處理。即將（jiāng）未入爐零件，通過（guò）真（zhēn）空清洗機進行真空去油、脫脂、幹燥。去除了工件（jiàn）的各類加工油汙和碎（suì）屑，保證了入爐工件不會帶入（rù）其它雜質，避免了在高溫加熱時雜質分解，汙染爐（lú）內環境和工件本身，從微觀上保證了工件的組織潔淨度和（hé）處理質量的完美性，提高了工件的使（shǐ）用壽命。

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